KLAが新たに自動車用ICの製造に特化した検査装置を発表

2021.6.28 更新

2021年6月にKLAが、自動車向けICの製造工程における歩留まりと信頼性向上を支援する為の欠陥検査システム3種類とインラインスクリーニングソリューションを発表。

今回新たに発表された新製品は、生産性を高めたパターンウエハー検査装置「8935」、ブロードバンドプラズマパターンウエハー検査装置「C205」、パターン無しウエハー検査装置「Surfscan SP A2/A3」および、インラインPATスクリーニングソリューション「I-PAT」の4製品。

Surfscan SP A2/A3は、DUV光学系と高度アルゴリズムを組み込んだ、製造プロセスでの欠陥を発見し除去することができる装置である。C205は、研究開発と生産ラインの立ち上げなどに向けた検査装置。ブロードバンド照明とNanoPoint技術を採用したことにより、重要な欠陥を高い感度で検出可能となっている。また、8935は光学技術とDefectWise AIソリューションを採用した検査装置であり、量産時に重要欠陥を幅広く捕捉できる装置である。

I-PATにおいては、KLA製の検査装置やデータ解析装置上で動作するツールとなっており、8935を含む8シリーズやPumaレーザースキャニング検査機で収集したデータを基に、欠陥の特徴を抽出する。そしてSPOT生産プラットフォームのカスタマイズされた機械学習アルゴリズムとKlarity欠陥管理システムの統計分析機能を活用し、母集団から外れている欠陥を識別するという。これにより欠陥の可能性があるICチップを、サプライチェーンから排除することができる。


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